+7 (812) 294-43-84
 

Методы получения сверхвысокого вакуума

 

Криосорбционные методы получения сверхвысокого вакуума

М. П. Ларин.

      Разработано, изготовлено и серийно выпускаются несколько модификаций заливных криосорбционных, конденсационных и конденсационно-сорбционных насосов, охлаждаемых жидким, твердым азотом и жидким гелием. С их помощью перекрывается весь диапазон рабочих давлений от 103 до 10-11 Па.

     Отличие сорбционных насосов, охлаждаемых жидким азотом, от известных цеолитовых - это больший диапазон рабочих давлений (102 - 10-5 Па), проведение регенерации при комнатной температуре, высокая экономичность по расходу жидкого азота, возможность длительной автономной работы.

     Крионасосы, охлаждаемые твердым азотом, не имеют зарубежных аналогов, и созданы для замены турбомолекулярных, диффузионных, бустерных и других насосов. Они особенно эффективны при откачке агрессивных газов в диапазоне рабочих давлений от 10 до 5 . 10-7 Па.

     Крионасосы, охлаждаемые жидким гелием, работающие в конденсационно-сорбционном режиме особенно эффективны для достижения сверхчистого, полностью безуглеродного вакуума в диапазоне рабочих давлений 10-5 - 10-11 Па. Они высокоэкономичные при эксплуатации, имеют ресурс непрерывной работы      

2-4 месяца после однократной заливки жидкого гелия, долговечны в эксплуатации. Созданные за последние 20 лет различные модификации крионасосов до сих пор успешно работают в научных и производственных организациях России, Украины, Германии, Швеции, США и Японии.

Методы получения сверхвысокого вакуума г. Санкт-Петербург
Rambler's Top100 © 2008 ООО Вакуумные и криогенные системы
Создание, разработка сайта - студия Мегагрупп.ру.